صنعت نیمه هادی بالاترین-زمینه کاربردی نهایی مواد گرافیتی است، و گرافیت نیمه هادی با درجه خلوص فوق العاده-بالا-به عنوان "حامل تمیز تولید تراشه" شناخته می شود. متفاوت از محصولات گرافیت فتوولتائیک، متالورژی و هوافضا، اجزای گرافیت نیمه هادی خلوص فوق العاده،{5}}نظافت فوق العاده و پایداری ابعادی فوق العاده- را دنبال می کنند و هر گونه ناخالصی، آلودگی ذرات ریز یا انحراف ابعادی منجر به ریزش ویفر و عملکرد خرابی تراشه می شود. با گسترش سریع فابرهای جهانی ویفر 300 و 450 میلیمتری و ارتقای مکرر فناوری نیمههادی باندگپ گسترده SiC و GaN، تقاضای بازار برای محصولات گرافیتی نیمهرسانای استاندارد{11}بالا{11}به رشد خود ادامه میدهد و آستانه فنی صنعت نیز دائماً در حال پیشرفت است.
با توجه به پیوندهای مختلف تولید نیمه هادی، محصولات گرافیت نیمه هادی به سه دسته اصلی تقسیم می شوند: اجزای گرافیت میدان حرارتی رشد ویفر، قطعات گرافیت کوره بازپخت عملیات حرارتی نیمه هادی، و تجهیزات بسته بندی و آزمایش گرافیت. هر دسته دارای استانداردهای فنی مستقل و مشکلات پردازشی است و یک سیستم محصول نهایی{1}متمایز را تشکیل میدهد.
اجزای گرافیت میدان حرارتی رشد ویفر در ویفرهای سیلیکونی تک کریستالی و کورههای رشد ویفر نیمههادی باندگپ گسترده-، از جمله گرمکنهای گرافیت، سیستمهای عایق حرارت، قطعات نگهدارنده بوته و اجزای رسانا استفاده میشوند. این نوع محصول به خلوص فوق العاده-با محتوای ناخالصی کل زیر 5ppm نیاز دارد و ناخالصی های فرار فلز تقریباً صفر است. در محیط رشد ویفر با دمای بالا-بالای 1500 درجه، هیچ گاز یا آلودگی ذرات مضری نمی تواند ایجاد شود تا از تمیزی سطح اتمی- محیط رشد ویفر اطمینان حاصل شود. در عین حال، اجزای میدان حرارتی باید دارای رسانایی حرارتی فوق العاده{9} و پایداری حرارتی باشند تا از کیفیت رشد یکنواخت ویفر اطمینان حاصل شود و از تاب خوردگی ویفر و نقص شبکه ناشی از نوسانات دما جلوگیری شود.
اجزای گرافیت کوره بازپخت نیمه هادی عمدتاً برای بازپخت کاشت یون ویفر، اصلاح سطح و درمان تنش زدایی استفاده می شود. چنین قطعات گرافیتی باید برای مدت طولانی در محیط-خلاء و{2}}خلوی بالا و گاز خنثی با خلوص بالا کار کنند و نیاز به سرعت- خروجی بسیار پایین دارند. رسوب گاز در داخل گرافیت محیط خلاء را آلوده کرده و بر دقت بازپخت ویفرها تأثیر می گذارد. بنابراین، اجزای گرافیت کوره بازپخت باید تحت عملیات گاز زدایی خلاء با دمای بالا قرار گیرند تا گازهای جذب شده داخلی و ناخالصیهای فرار را حذف کنند و اطمینان حاصل شود که حجم خروجی گاز در محدوده استاندارد صنعت نیمهرسانا کنترل میشود.
بسته بندی تراشه و تجهیزات تست گرافیت اجزای عملکردی دقیقی هستند که برای برش ویفر، بلبرینگ بسته بندی و تست عملکرد الکتریکی استفاده می شوند. این نوع محصول دارای الزامات بسیار بالایی در دقت ابعاد، صافی و پرداخت سطح است. این دستگاه باید کاملاً متناسب با اندازه کوچک ویفر تراشه باشد، با تحمل پردازش در ± 0.003 میلیمتر کنترل میشود، و سطح فوقالعاده-صاف و بدون برآمدگیها و برآمدگیهای ریز-، از آسیب خراش به سطح ویفر جلوگیری میکند. در عین حال، برای جلوگیری از شکستن مدارهای تراشه، الکتریسیته ساکن باید عملکرد ضد{6} پایداری داشته باشد.
فناوری پردازش اصلی محصولات گرافیت نیمه هادی در تولید بسیار-تصفیه بالا و تولید با دقت فوق العاده{1}} تمیز است. برخلاف پردازش گرافیت معمولی، تولید گرافیت نیمه هادی باید در یک کارگاه تصفیه بدون گرد و غبار از کلاس 1000 یا بالاتر انجام شود. تمام تجهیزات پردازش برای جلوگیری از آلودگی ذرات فلزی ناشی از اصطکاک تجهیزات سفارشی شده است. مواد خام برای حذف ناخالصیها و گازهای جذبشده و رسیدن به استانداردهای نیمهرسانا-فوقالعاده تمیز-تصفیهی هالوژن با دمای بالا-چند مرحلهای و عملیات گاززدایی در خلاء باید انجام شود.
کارخانه قالب ساینده و گرافیت Huixian Jinchengمدتهاست که درگیر تولید سفارشی محصولات گرافیتی با درجه خلوص-نیمهرسانا-غیرالعاده{1}}بالا-میباشد و مجموعه کاملی از سیستمهای تولید حرفهای و آزمایش گرافیت نیمهرسانا را مطابق با استانداردهای بینالمللی تولید تراشه ساخته است. این شرکت به طور انحصاری نیمه هادی های وارداتی فوق-گرافیت ایزواستاتیک ایزواستاتیک دانه های ریز را انتخاب می کند، و چهار مرحله-تصفیه عمیق{6}}درجه حرارت بالا و فرآیند گاززدایی خلاء چند سیکلی را برای کنترل پایدار محتوای ناخالصی کل محصولات نهایی کمتر از 5ppm بالا و سطح فوق العاده پایین{100 صفحه در دقیقه استفاده می کند. الزامات تولید فوق{10} تمیز ویفرهای نیمه هادی.
از نظر پردازش دقیق، Jincheng Graphite تمام مراحل پردازش را در یک کارگاه حرفهای تصفیه بدون گرد و غبار تکمیل میکند و از ابزارهای پردازش غیر فلزی ویژه برای جلوگیری از آلودگی فلزی استفاده میکند. این شرکت با تجهیز به-پردازش فوقالعاده دقیق CNC و{4}}تجهیزات پولیش سطحی نانو، میتواند تولید میکرو-در سطح فوقالعاده{6}}قطعات میدان حرارتی نیمهرسانا و قطعات فیکسچر را با صافی و تحمل ابعادی محصولات نهایی که کاملاً با استانداردهای بینالمللی مطابقت دارد، انجام دهد. فناوری تصفیه سطح ضد استاتیک-خود توسعه یافته این شرکت میتواند به طور موثر مقاومت استاتیک اتصالات گرافیتی را بهبود بخشد و از ویفرهای تراشه در برابر آسیب استاتیک محافظت کند.
در حال حاضر، محصولات گرافیتی نیمه هادی-جینچنگ گرافیت، اجزای میدان حرارتی ویفرهای سری کامل، قطعات گرافیت کوره بازپخت و تجهیزات تست بسته بندی را پوشش می دهند که به طور گسترده با تجهیزات تولید ویفر نیمه هادی رایج جهانی مطابقت دارند. محصولات به بسیاری از پایگاههای تولید نیمهرسانا در آسیا، اروپا و آمریکای شمالی صادر میشوند و پشتیبانی از مواد هستهای فوقالعاده-بالا-و فوق-دقیق برای تولید تراشههای جهانی و ارتقای صنعتی نیمههادیهای باندگپ گسترده- ارائه میکنند.
با توسعه مداوم فناوری پیشرفته تولید نیمه هادی، استانداردهای تمیزی و دقت محصولات گرافیت نیمه هادی بیشتر بهبود می یابد. Jincheng Graphite به ارتقای فناوری تصفیه و سیستم پردازش فوق{1} تمیز ادامه خواهد داد، به طور مداوم عملکرد محصول گرافیت نیمه هادی را بهینه می کند، و به صنعت نیمه هادی جهانی کمک می کند تا به توسعه تکراری با کیفیت-بالا دست یابد.
