حلقه پشتیبانی گرافیت (سنگ پایه پایدار برای سیستم میدان حرارتی)

توابع اصلی
پشتیبانی باربری-: از وزن کل بوته و مواد سیلیکونی (تا 1200 کیلوگرم) پشتیبانی می‌کند و از دقت موقعیت عمودی سیستم میدان حرارتی اطمینان می‌دهد.
اتصال ساختاری: به عنوان یک جزء انتقالی بین بوته گرافیتی و میله نگهدارنده عمل می کند، قدرت چرخشی را منتقل می کند و امکان کنترل دقیق سرعت بوته (0.1 - 10 دور در دقیقه) را فراهم می کند.
موقعیت‌یابی میدان حرارتی: موقعیت عمودی بوته را ثابت می‌کند و از فاصله ثابت بین سطح مایع مذاب و سطح مشترک رشد کریستال اطمینان می‌دهد.
بافر تنش: تنش ناشی از انبساط حرارتی را جذب می کند و از تغییر شکل حرارتی جزء که باعث گیر کردن یا نشتی می شود جلوگیری می کند.
مواد ترجیحی: گرافیت فشرده ایزواستاتیک با خلوص بالا، با محتوای کربن بیشتر یا مساوی 99.99٪ و محتوای خاکستر کمتر یا مساوی 20 ppm، و قدرت ضد خمشی بیشتر یا مساوی 60 MPa

طراحی پیشرفته

نواحی کلیدی تحت فشار با الیاف کربن تقویت شده است که منجر به افزایش استحکام 40-60 درصدی می شود که برای تولید ویفرهای سیلیکونی با اندازه بزرگ مناسب است.
درمان سطح: پوشش اختیاری SiC یا درمان ضد اکسیداسیون را می توان برای افزایش مقاومت در برابر خوردگی و عمر مفید اعمال کرد.
ویژگی های اصلی
استحکام فوق العاده{0}بالا: در دمای بالا (1500 درجه)، استحکام فشاری بیشتر یا مساوی 50 مگاپاسکال است، مقاومت خمشی بیشتر یا مساوی 40 مگاپاسکال است، و خزش قابل توجهی وجود ندارد.
کنترل دقیق: تحمل ابعاد ± 0.03 میلی متر است، زبری سطح Ra کمتر یا برابر با 0.8 میکرومتر است، که دقت مونتاژ را تضمین می کند.
پایداری حرارتی: ضریب انبساط حرارتی کمتر یا برابر با 1.8 × 10-6/K است، تغییر شکل در دمای بالا <0.1 میلی متر است، که دقت موقعیت یابی را تضمین می کند.
مقاومت مغناطیسی: هنگامی که با میله های نگهدارنده گرافیت ترکیب می شود، ضریب اصطکاک کمتر یا مساوی 0.15 است که باعث کاهش سایش و افزایش طول عمر قطعه می شود.
بی اثری شیمیایی: بدون واکنش با سیلیکون مذاب و کوارتز، اجتناب از آلودگی و رعایت الزامات خلوص نیمه هادی. مزایای فنی
بهبود پایداری: دقت موقعیت یابی عمودی ± 0.05 میلی متر، کاهش انحراف رشد کریستال و افزایش صافی ویفر سیلیکونی
طول عمر بیشتر: طراحی مواد با استحکام بالا، طول عمر 12 تا 18 ماه را ممکن می‌کند و هزینه‌های نگهداری را کاهش می‌دهد.
سازگاری گسترده: سازگار با مارک‌های اصلی کوره‌های تک{0}}کریستال در داخل و خارج از کشور (مانند ماشین آلات برقی Jingliang، Licheng CNC، NTC، و غیره)